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科民ALD实现2.5s/cycle成膜

科民ALD实现2.5s/cycle成膜

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【概要描述】科民电子具有匀气可更换双腔，1cycle时长缩减到2.5s

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科民ALD实现2.5s/cycle成膜

【概要描述】科民电子具有匀气可更换双腔，1cycle时长缩减到2.5s

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　　科民电子具有匀气可更换双腔，1cycle时长缩减到2.5s

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