11月21日，Nano Energy期刊上发表了Atomic Layer Deposition-Enabled Ultrastable Freestanding Carbon-Selenium Cathodes with High Mass Loading for Sodium-Selenium Battery的研究论文，论文报道了深圳大学在钠-硒电池正极材料的最新研究成果。共同通讯作者为深圳大学的张培新教授与佐治亚理工学院的林志群教授，第一作者是深圳大学的马定涛和李永亮博士。在此嘉兴科民电子设备技术有限公司祝贺各位老师在高质量电池领域取得了喜人成果。

　　图1.（左）为深圳大学使用的嘉兴科民电子设备技术有限公司生产的等离子增强型原子层沉积设备。（右）文章封面图片：钠-硒电池的氧化铝包覆的硒/多孔氮掺杂碳纳米纤维复合电极制备过程以及充放电循环稳定性测试

　　研究人员在制备钠-硒电池的氧化铝包覆的硒/多孔氮掺杂碳纳米纤维复合电极(SC@Se-Al2O3)中使用了嘉兴科民电子设备技术有限公司生产的等离子增强型原子层沉积设备（PE-ALD），在纳米纤维表面制备了纳米级的氧化铝(Al2O3)功能层，研究结果表面：原子层沉积(ALD)可以调节电极的电化学性能，提高活性物质负载量和循环稳定性，得到高负载量、高稳定性、自支撑的碳-硒正极材料。经过对各材料参数进行试验后发现电子最优性能为电极种硒含量为67 wt%, 表面包覆的Al2O3薄膜厚度为3 nm。该论文对未来高负载量、高稳定性电极的研发指明了一个新的研究方向。

图2.嘉兴科民电子设备技术有限公司生产的（左）热型原子层沉积设备（右）Loadlock生产型原子层沉积设备

图3.嘉兴科民电子设备技术有限公司生产的（左）高温管式ALD设备（右）手套箱集成原位检测原子层沉积设备